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日立掃描電鏡SU3800/SU3900

產(chǎn)品介紹

日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800采用全新的HexBias偏壓技術，使其低電壓性能大大提升，同時升級的高靈敏度背散射探測器和可變壓力探測器使得SU3800的觀察能力進一步提升。SU3800還增加了IFT燈絲監(jiān)控技術、全新的光鏡導航、集成的能譜以及報告導出等功能，使其操作也變得更為簡單。

掃描電鏡

產(chǎn)品特性：

HexBias偏壓鎢燈絲電子槍

優(yōu)異的高、低電壓性能

高靈敏度五分割背散射電子探測器

可變壓力二次電子探測器（高、低真空可用）

全新的操作界面和光鏡導航功能

全自動燈絲設定和合軸

報告導出和圖片處理

可集成的EDS

簡單方便的維護（燈絲更換視頻）

技術參數(shù)：

電子槍	預對中鎢燈絲
加速電壓	0.3kV – 30kV
分辨率	3.0nm@30kV (SE)
	15.0nm@1kV (SE)
	4.0nm@30kV (BSE, LV)
放大倍率	5x – 300,000x（底片倍率）
放大倍率	7x – 800,000x（顯示器倍率）
探測器	二次電子探測器，高靈敏度無分割背散射電子探測器
探測器	可變壓力探測器UVD 2.0*
低真空可變壓力范圍	6 – 650Pa
樣品臺（三軸馬達）	X: 0 - 100 mm
	Y: 0 – 40 mm
	Z: 5 – 65 mm
	R: 0 – 360°
	T: -20° - +90°